合肥科晶 M-5臺(tái)式四探針測(cè)試儀

產(chǎn)品概述：

M-5臺(tái)式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理測(cè)試材料電阻率/方塊電阻的多用途、高性?xún)r(jià)比測(cè)量?jī)x器。廣泛適用于半導(dǎo)體材料廠、科研單位、高等院校四探針?lè)▽?duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類(lèi)半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測(cè)試。

合肥科晶 M-5臺(tái)式四探針測(cè)試儀產(chǎn)品特征：

• 測(cè)試儀由M-5型主機(jī)和四探針探頭以及快速恒壓四探針測(cè)試臺(tái)三部分組成

• 臺(tái)式設(shè)計(jì)，帶完善厚度、形狀修正功能，測(cè)試精準(zhǔn)

• 寬量程：超寬五個(gè)檔位，相當(dāng)于中檔臺(tái)式機(jī)的量程

• 操作簡(jiǎn)便、性能穩(wěn)定：輕觸數(shù)字化鍵盤(pán)實(shí)現(xiàn)參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換，LED數(shù)字表頭顯示

• 多款探頭可選，適用于各種不同材料的導(dǎo)電性能測(cè)試

工作電源：

• 208-240V，50/60Hz

• 功率：20W

探頭：

• 根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配：

• 碳化鎢探針探頭（固體材料）：φ0.5mm，探針間距1.0mm，測(cè)試硅等半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類(lèi)等硬質(zhì)材料

• 球形或平頭鍍金銅合金探針探頭（薄膜）：φ0.7mm，探針間距2mm，可測(cè)金屬箔、碳紙等導(dǎo)電薄膜，也可測(cè)陶瓷、玻璃或PE膜等基底

• 上導(dǎo)電涂層膜，如金屬鍍膜、噴涂膜、ITO膜、電容卷積膜等材料的薄膜涂層

• 探頭頭部安裝有平衡基座避免人手操作的誤差

選配：快速恒壓四探針測(cè)試臺(tái)，對(duì)測(cè)試壓力進(jìn)行調(diào)節(jié)保證恒壓測(cè)試，提高測(cè)試的精確度

測(cè)量范圍、分辨率：

• 電阻：10-5～2*105Ω 分辨率：10-6～102 Ω

• 電阻率：10-5～2*105Ω-cm 分辨率：10-6～102 Ω-cm

• 方塊電阻：5*10-5～9*105Ω/m2  分辨率5*10-6～5*102Ω/m2

基本誤差：±1%FSB±2LSB

外形尺寸：220mm L × 245mm W × 100mm H

凈重：2.5kg