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合肥科晶 2英寸高真空磁控濺射頭

簡(jiǎn)要描述:

合肥科晶 2英寸高真空磁控濺射頭
型號(hào):(HVMSS-SPC-2 2英寸高真空磁控濺射頭)

更新時(shí)間:2024-01-16

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合肥科晶 2英寸高真空磁控濺射頭(HVMSS-SPC-2 2英寸高真空磁控濺射頭)

產(chǎn)品概述:

HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭,可適用的靶材種類較廣,如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材。環(huán)形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上,以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。此款濺射頭可與DC或RF電源配合使用。

合肥科晶 2英寸高真空磁控濺射頭

特征:

· 采用高質(zhì)量的不銹鋼和陶瓷材料制作

· 采用電磁場(chǎng)的有元計(jì)算法來(lái)設(shè)計(jì)永磁體,以得到較高的磁場(chǎng)強(qiáng)度和均強(qiáng)場(chǎng)分布

· 磁體表面涂有一層保護(hù)層,以防止冷卻水的腐蝕,延長(zhǎng)其使用壽命

· 標(biāo)準(zhǔn)的HN型接頭,可與DC和RF電源相匹配

· 安裝是采用標(biāo)準(zhǔn)真空接頭,便于操作

更換靶材較為簡(jiǎn)單,無(wú)需調(diào)整濺射頭的高度

所需功率:

  • DC(大)1000W

  • RF(大)500W

大濺射電流:3A

濺射電壓:100-1000V

濺射時(shí)腔體真空度:5-100 mTorr

尺寸:

  • 陽(yáng)極護(hù)套直徑:3.5英寸

  • 總長(zhǎng)度:14英寸

靶材:

  • 直徑:2.0英寸(50.8mm)

  • 厚度:對(duì)于非磁性靶材,大厚度為1/8英寸
    對(duì)于磁性靶材,大厚度為1/16英寸

  • 靶材利用率:30%

  • 磁鐵:NdFeB 稀土磁鐵

需要冷卻水:

  • 流速:0.8 GPM

  • 進(jìn)水溫度:<20 ℃

  • 水管:0.25" OD.

可選配件:

· 當(dāng)同時(shí)購(gòu)買300W射頻發(fā)射器和2英寸磁控濺射頭時(shí),本公司會(huì)贈(zèng)送一高真空快速接頭

· 此快速接頭的內(nèi)徑為0.75英寸,可將濺射頭安裝在真空腔體上,真空腔體上的安裝孔直徑為1英寸,真空腔體的壁厚不得大于1英寸

循環(huán)水冷機(jī),流量為16L / min ,水箱容積為6L

公司簡(jiǎn)介:
    森瑪特儀器(北京)有限公司由一群有著共同愿景的實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備*人員創(chuàng)建,秉承“共享共贏"的經(jīng)營(yíng)理念。旨在成為中國(guó)實(shí)驗(yàn)室儀器和設(shè)備行業(yè)專業(yè)技術(shù)和服務(wù)。從銷售團(tuán)隊(duì)、運(yùn)營(yíng)團(tuán)隊(duì)、市場(chǎng)團(tuán)隊(duì)、產(chǎn)品支持到售后服務(wù)團(tuán)隊(duì),全部受過(guò)系統(tǒng)的高等教育、嚴(yán)格的產(chǎn)品技術(shù)和優(yōu)良的服務(wù)意識(shí)的培訓(xùn)。我們能夠?yàn)榭蛻籼峁﹥?yōu)質(zhì)的實(shí)驗(yàn)室全套解決方案。
     森瑪特服務(wù)于國(guó)內(nèi)眾多國(guó)內(nèi)外企業(yè)的研究與發(fā)展機(jī)構(gòu)、重大科學(xué)研究和試驗(yàn)發(fā)展項(xiàng)目、食品安全體系等。客戶群體遍及高??蒲泻蛧?guó)內(nèi)外企業(yè)。主營(yíng)產(chǎn)品涉及于生命科學(xué)、環(huán)境監(jiān)測(cè)、材料科學(xué)、食品安全、理化研究等眾多領(lǐng)域。
     森瑪特儀器-中國(guó)好儀器,為客戶提供好儀器,服務(wù)中國(guó)客戶,同時(shí)為客戶提供電子商務(wù)服務(wù)和網(wǎng)上技術(shù)咨詢服務(wù)。我們的承諾是:以合理的價(jià)格,過(guò)硬的質(zhì)量,快捷的貨期及售前咨詢、售中指導(dǎo)、售后服務(wù),在為廣大客戶提供優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品的同時(shí),讓您充分感受到現(xiàn)代工業(yè)給您帶來(lái)的方便和震撼。我們將堅(jiān)持不懈地探索創(chuàng)新,注重新產(chǎn)品品質(zhì),為客戶供應(yīng)更多的新產(chǎn)品。竭誠(chéng)歡迎與各界同仁,有志之士進(jìn)行廣泛的友好合作,實(shí)現(xiàn)優(yōu)勢(shì)互補(bǔ),雙贏共享!


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